檢索結果:共4筆資料 檢索策略: "高解析度".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="位移"
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本研究提出一套以「循環式光路」做為技術核心的新式雷射光學尺量測技術,用以進行精密位移及角位移量測。此套創新的「循環式雷射光學尺」導入了「薩格納克循環式光路」、「雙繞射式光路」及「多自由度光路」等設計…
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本研究提出一套「循環式線性光學尺(CLE)」,此套光學尺是由雷射二極體、光柵(G)、側向位移分光鏡(LBS)、偏極化分光鏡(PBS)、反射鏡(M)、偏振片(P)及IC光偵測器所組成,具光路架構簡單、…
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本研究提出一套以「雙繞射」為設計概念進行系統開發的雙繞射式雷射光學尺,用以進行位移及旋轉角量測。此套雙繞射式雷射光學尺系統整合外差干涉術、光柵干涉術、雙繞射光路及分光技術等設計概念進行開發,使系統具…